SR-D 0.1um高精度尘埃粒子计数器

1 产品概述

SR-D01 型激光尘埃粒子计数器（0.1μm）用于测量洁净环境中单位体积空气内的尘埃粒子大小及数目，最小粒径档可达 0.1μm，可直接检测洁净度等级至十级为三十万级的洁净环境。本产品可广泛应用于电子、光学、化学、食品、化妆品、医药卫生、生物制品、航空航天等部门。

本产品可以配套高压扩散器测试工艺压缩空气的洁净度评价。

2 指标参数

配套高压扩散器做压缩空气的洁净度测试

超净间环境洁净度测试

SR-D01与美国TSI0.1um尘埃粒子计数器对比曲线图

在半导体光刻、生物医药无菌灌装、精密光学镀膜等制造领域，一颗0.1微米的隐形颗粒，就可能引发产品良率崩塌、批次报废甚至安全事故。过去，能精准捕捉0.1微米粒子的设备几乎被进口品牌垄断，高昂的价格、繁琐的维护让许多企业望而却步。如今，开云网页版登录入口凭借深厚技术积累，推出SR-D01型激光尘埃粒子计数器，以0.1μm真实检测下限 + 28.3L/min大流量采样 + 全粒径档位覆盖，让高精度洁净检测变得触手可及。

突破极限，从0.1微米开始掌控洁净度

SR-D01最小粒径档位低至0.1μm，相比常规0.3μm起测的仪器，它能发现更隐蔽的超微污染源。无论是光刻胶颗粒、细菌载体，还是工艺气体中的微量杂质，都无处遁形。更关键的是，它提供六个粒径档位（0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm），既能看清纳米级的“敌人"，又能兼顾常规ISO等级判定，一机满足从十级到三十万级洁净环境的全范围检测需求。

28.3L大流量，测得更快、更准、更具代表性

流量是粒子计数器的核心参数。SR-D01采用28.3L/min（1CFM）大流量气路设计，相比2.83L/min的小流量设备，采样效率提升10倍——在相同时间内捕获更多粒子，显著降低统计误差，尤其适用于等级较高、粒子浓度极低的十级或百级洁净室。同时，大流量能更快完成单点采样，提升巡检效率，降低生产线的等待时间。

不止于洁净室：工艺压缩空气也能轻松应对

很多洁净事故的元凶不是室内环境，而是管道内携带油水、尘埃的压缩空气。SR-D01可配套高压扩散器，直接对压缩空气管路进行等动力采样，精准评价工艺用气的洁净度等级，为气动设备、吹扫工序加上一道“保险"。从电子厂的光刻气路到药厂的灌装用气，SR-D01都能提供可靠数据支撑。

数据说话：与进口对标，计量院认证

进口0.1μm粒子计数器往往价格数倍于国产设备。开云网页版登录入口敢于亮出硬实力——SR-D01与美国TSI 0.1μm尘埃粒子计数器进行平行对比测试（见下方趋势图），两者在不同粒径档位的计数结果高度吻合，曲线几乎重叠。这意味着，SR-D01已具备与国际同台竞技的能力。此外，产品送检中国计量科学研究院，获得校准报告，每一台出厂设备均可溯源至国家基准，无惧各类GMP、ISO14644、GB/T 16292等法规审核。

工业级设计，稳定可靠

• 304不锈钢外壳，抗腐蚀、易清洁，满足制药、食品等行业的洁净室材质要求。

• 自净时间≤10分钟，快速恢复待测状态，避免交叉污染。

• 超大存储（≥10000组数据） + RS232通讯，便于数据追溯与系统集成。

• 可调测量周期（1s~1000s），灵活适应不同浓度场景。

• 锂电池续航约3小时，兼顾便携性与持续作业需求。

应用场景全覆盖

• 半导体与面板：光刻区、刻蚀区、黄光区的0.1μm级控尘

• 生物制药：GMP无菌灌装线、隔离器、冻干机进出口检漏

• 精密光学/航天：镀膜前基片洁净度验证

• 食品/化妆品：灌装车间、包装车间洁净度日常监测

• 医院/疾控：洁净手术室、ICU、实验室空气质量控制

SR-D01送检中国计量科学研究院报告